两个小时后,最终结果终于出炉了。
他们研发的光刻胶,成功地经受干法刻蚀中高能粒子的洗礼,顺利完成了保护硅片基底的任务,芯片良品率高达98%!
在吴利鸿院士的带领下,苏省大学微电子研究员,终于成功研发出了一款能胜任13.5nm制程的国产顶级EUV光刻胶!
而且这个13.5纳米制程,只是目前的初步实验结论。
从他们这次得到的套刻精度来看,这款光刻胶实际上有相当大的可能,可以胜任5纳米制程芯片的制造!
吴利鸿也非常沉得住气,没有选择立即将实验结果上报上去,而是让研究员们按照上次的配方,重新调配了一批光刻胶。
然后重复做了足足十次实验,确认每次的结果误差都在可接受的范围内后,才带着光刻胶和团队的主要技术人员飞往魔都,来到了申城硅产业集团。
此时的申城硅产业的集团总裁陈云明恰好在和华威的余总和何总,讨论华威P6的芯片代工问题。
而双方讨论的要点,就是产量和成本的问题。
华威本着量大从优的道理,想要直接订购两千万枚麒零9000。
但申城硅产业现在,其实也就只有一台秦光一号。
按照秦光一号每小时180片的硅片吞吐量,以及制造出的每片晶圆可以切割出500枚芯片来算,一台光刻机每天的产能应该有216万枚。
但实际上,光刻机的吞吐量不代表晶圆的制造速度,而是要根据不同芯片的设计,进行多次曝光和蚀刻。
以麒零9000为例,它需要经过足足19次光刻-蚀刻循环,才能完成整个晶圆制造环节,
也就是说,每天理论上只能造11万枚。
这还是建立在设备24小时不停机休息和维护,以及100%良率的基础之上。
因此实际产能,平均每天能有8万枚,就已经很不错了。
两千万枚芯片的订单,要差不多八个月才能完成,还是把所有产能,都压榨给华威的情况下。
何况在如此高负荷的运转下,他们光刻胶的库存,都不知道能不能撑得住……
“……我们也得考虑成本,也要时间来研发3nm的制程工艺,希望你们也能考虑一下我们的难处。”
陈云明实在有点受不了两位老总的软磨硬泡,最终拍板道,
“要不就这样吧,我给你两个方案,一个是150元300万枚,一个是200元600万枚,600万是极限,已经很够意思了。”
“呃……”
余总立刻在心里算了一笔账。
按照台机电5纳米制程,13400美元/片晶圆的价格来算,约等于每枚5nm制程的芯片代工费,是187元。
但台积电的代工是按晶圆来算的,废品都给你算钱了,而陈云明刚刚报的是当个芯片价格,等于去掉了废品,所以150-200元的代工费,在这个特殊时期,确实相当厚道了。
“可是陈总,这买卖哪有越多越贵的道理……”
“这不是情况特殊嘛,如果在库存光刻胶消耗完之前,国产光刻胶没有动静,那我们有光刻机也没得用啊,只能先省着点花了……”
“其实还有个办法,就是伱们去找康博士借点光刻胶给我们,那小子贼精得很,早早地就让我们帮他屯光刻胶了,现在大汉芯业的光刻机屯得比我们还多!”
每每想到这里,陈云明都有点后悔当初没有听康驰的,提前多屯点光刻胶。
主要是,当初谁能想到他能这么快搞出EUV光刻机……
就在余总还在考虑着,六百万枚到底能撑多久的时候,陈云明突击接到了吴利鸿的电话。
“吴院士?等等……你说什么?测试光刻胶?就到楼下了?!”
“……”
放下电话的陈云明,过了半响才缓过神,然后连忙打了个电话给董建元,让他下去接吴利鸿。
处理完这些后,他才转头看向华威的两个老总,一脸激动地说道:“我们的救星来了!”